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	人工神经网络—遗传算法优化激光—等离子体化学气相沉积Si_3N_4薄膜制备工艺
	张勤俭,吴春丽,李敏,张勤河,秦勇,毕进子,张建华
刊名	陶瓷学报
	2002
期号	02页码:116-118
关键词	激光—等离子体辅助化学气相沉积 Si3N4薄膜 人工神经网络 遗传算法
DOI	10.3969/j.issn.1000-2278.2002.02.008
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6771807
专题	山东大学
作者单位	山东大学,山东大学,同济大学,山东大学,山东大学,山东大学,山东大学
推荐引用方式 GB/T 7714	张勤俭,吴春丽,李敏,张勤河,秦勇,毕进子,张建华. 人工神经网络—遗传算法优化激光—等离子体化学气相沉积Si_3N_4薄膜制备工艺[J]. 陶瓷学报,2002(02):116-118.
APA	张勤俭,吴春丽,李敏,张勤河,秦勇,毕进子,张建华.(2002).人工神经网络—遗传算法优化激光—等离子体化学气相沉积Si_3N_4薄膜制备工艺.陶瓷学报(02),116-118.
MLA	张勤俭,吴春丽,李敏,张勤河,秦勇,毕进子,张建华."人工神经网络—遗传算法优化激光—等离子体化学气相沉积Si_3N_4薄膜制备工艺".陶瓷学报 .02(2002):116-118.

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