人工神经网络—遗传算法优化激光—等离子体化学气相沉积Si_3N_4薄膜制备工艺 | |
张勤俭,吴春丽,李敏,张勤河,秦勇,毕进子,张建华 | |
刊名 | 陶瓷学报
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2002 | |
期号 | 02页码:116-118 |
关键词 | 激光—等离子体辅助化学气相沉积 Si3N4薄膜 人工神经网络 遗传算法 |
DOI | 10.3969/j.issn.1000-2278.2002.02.008 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6771807 |
专题 | 山东大学 |
作者单位 | 山东大学,山东大学,同济大学,山东大学,山东大学,山东大学,山东大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张勤俭,吴春丽,李敏,张勤河,秦勇,毕进子,张建华. 人工神经网络—遗传算法优化激光—等离子体化学气相沉积Si_3N_4薄膜制备工艺[J]. 陶瓷学报,2002(02):116-118. |
APA | 张勤俭,吴春丽,李敏,张勤河,秦勇,毕进子,张建华.(2002).人工神经网络—遗传算法优化激光—等离子体化学气相沉积Si_3N_4薄膜制备工艺.陶瓷学报(02),116-118. |
MLA | 张勤俭,吴春丽,李敏,张勤河,秦勇,毕进子,张建华."人工神经网络—遗传算法优化激光—等离子体化学气相沉积Si_3N_4薄膜制备工艺".陶瓷学报 .02(2002):116-118. |
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