| 热丝化学气相沉积法生长金刚石薄膜的动态模型 | |
| 姚文静; 汪颖梅; 苏亚凤; 姚合宝; 王岩宝; 耿东生; 刘正堂; 毛翔宇; 何大韧 | |
| 刊名 | 扬州大学学报(自然科学版)
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| 1998 | |
| 期号 | 4页码:16-19 |
| 关键词 | 压力熵 扩散系数 反应平衡常数 金刚石 热丝化学气相沉积 薄膜生长 吸附系数 |
| ISSN号 | 1007-824X |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6632773 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姚文静,汪颖梅,苏亚凤,等. 热丝化学气相沉积法生长金刚石薄膜的动态模型[J]. 扬州大学学报(自然科学版),1998(4):16-19. |
| APA | 姚文静.,汪颖梅.,苏亚凤.,姚合宝.,王岩宝.,...&何大韧.(1998).热丝化学气相沉积法生长金刚石薄膜的动态模型.扬州大学学报(自然科学版)(4),16-19. |
| MLA | 姚文静,et al."热丝化学气相沉积法生长金刚石薄膜的动态模型".扬州大学学报(自然科学版) .4(1998):16-19. |
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