| 制备热解氮化硼坩埚制品的中频感应炉 | |
| 赵凤鸣 | |
| 1999 | |
| 关键词 | 氮化硼 化学气相沉积 中频感应炉 |
| 中文摘要 | 一种用于制造热解氮化硼制品的化学气相沉积感应炉，属化学气相沉积技术领域。其特征是炉体内环绕感应线圈的石墨套筒发热体位于中下部，设置的模具基体立于旋转底座上。它是一种中频感应炉，基体在感应线圈中，本身的磁场作用下，产生涡流，发出热量，外加同心圆发热体对它辐射热，升温速度快，基体受热较均匀。 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/69309]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵凤鸣. 制备热解氮化硼坩埚制品的中频感应炉. . 1999. |
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