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	薄膜材料微裂纹预制方法及其专用装置
	中国科学院金属研究所
	2008
关键词	薄膜材料 微裂纹 预制
中文摘要	本发明涉及一种薄膜材料微裂纹预制方法及其专用装置。该方法：首先将薄膜材料固定在硅单晶片的抛光面，将粘有薄膜材料的硅单晶片切割成为片状样品；然后将切割完毕的多个片状样品粘成块状样品，其中片状样品保持方向一致，薄膜材料夹持在硅单晶片之间，形成三明治式夹层结构；再将块状样品抛光后，固定在具有测力系统的载物台上，将压轮落在样品需预制微裂纹的一侧面，使其滑过整个需要加工微裂纹的样品一侧表面，在其滑过痕迹下方生成微裂纹。该装置主要由载物台、测力计、压轮固定横梁、载荷调节旋钮和压轮组成。本发明预制的微裂纹呈平直形状，其周围应力场简单，裂纹形状规则，可以反映真正裂纹行为。200510047087.9
语种	中文
内容类型	成果
源URL	[http://210.72.142.130/handle/321006/68467]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	中国科学院金属研究所. 薄膜材料微裂纹预制方法及其专用装置. . 2008.

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