| 直流反应磁控溅射法制备太阳电池用ITO透明导电膜 | |
| 崔敏; 邓金祥; 张维佳; 段苹 | |
| 2011 | |
| 会议名称 | TFC‘2011全国薄膜学术研讨会 |
| 会议日期 | 2011-08-01 |
| 会议地点 | 南昌 |
| 关键词 | 太阳能电池 半导体薄膜 直流磁控溅射法 工艺参数 |
| 页码 | 763-766 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6589225 |
| 专题 | 北京航空航天大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 崔敏,邓金祥,张维佳,等. 直流反应磁控溅射法制备太阳电池用ITO透明导电膜[C]. 见:TFC‘2011全国薄膜学术研讨会. 南昌. 2011-08-01. |
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