| 用于实时溅射深度测量的新型Grimm辉光放电光源的设计 | |
| Wan Zhen-zhen; Li Xiao-jia; Wang Yong-qing; Sun Rong-xia; Shi Ning | |
| 刊名 | 光谱学与光谱分析
 |
| 2011 | |
| 卷号 | 31页码:1142-1146 |
| 关键词 | 辉光放电光源 深度分析 溅射 实时深度测量 激光位移传感器 激光三角测量 |
| ISSN号 | 1000-0593 |
| DOI | 10.3964/j.issn.1000-0593(2011)04-1142-05 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 收录类别 | SCIE ; EI ; PKUISTICCSCD |
| WOS记录号 | WOS:000291227500063 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6588822 |
| 专题 | 北京航空航天大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wan Zhen-zhen,Li Xiao-jia,Wang Yong-qing,等. 用于实时溅射深度测量的新型Grimm辉光放电光源的设计[J]. 光谱学与光谱分析,2011,31:1142-1146. |
| APA | Wan Zhen-zhen,Li Xiao-jia,Wang Yong-qing,Sun Rong-xia,&Shi Ning.(2011).用于实时溅射深度测量的新型Grimm辉光放电光源的设计.光谱学与光谱分析,31,1142-1146. |
| MLA | Wan Zhen-zhen,et al."用于实时溅射深度测量的新型Grimm辉光放电光源的设计".光谱学与光谱分析 31(2011):1142-1146. |
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