| 微米光栅加速度计的方案研究 | |
| 冯丽爽; 王潇; 姚保寅; 刘惟芳 | |
| 2013 | |
| 会议名称 | 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 |
| 会议日期 | 2013-07-22 |
| 会议地点 | 大连 |
| 关键词 | 光学传感器 微米光栅加速度计 |
| 页码 | 270-273 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6571785 |
| 专题 | 北京航空航天大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯丽爽,王潇,姚保寅,等. 微米光栅加速度计的方案研究[C]. 见:2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会. 大连. 2013-07-22. |
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