| 铝镓共掺氧化锌纳米粉末及其高密度高电导溅射镀膜靶材的制备方法 | |
| 张维佳; 刘嘉; 宋登元; 吴然嵩; 张雷; 马强; 马晓波 | |
| 2013 | |
| 权利人 | 北京航空航天大学 英利集团有限公司 |
| 公开日期 | 2013-11-27 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 申请日期 | 2013-08-02 |
| 内容类型 | 专利 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6570874 |
| 专题 | 北京航空航天大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张维佳,刘嘉,宋登元,等. 铝镓共掺氧化锌纳米粉末及其高密度高电导溅射镀膜靶材的制备方法. 2013-01-01. |
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