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	掺硼和掺磷的氢化纳米硅薄膜及其应用于类叠层太阳电池的研究
	孙月峰; 张维佳; 宋登元; 刘嘉; 张雷; 马强; 吴然嵩; 张冷
刊名	表面技术
	2013
卷号	42页码:5-8
关键词	RF-PECVD 掺硼 掺磷 纳米硅薄膜 类叠层太阳电池
ISSN号	1001-3660
URL标识	查看原文
收录类别	PKUISTICCSCD
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6561957
专题	北京航空航天大学
推荐引用方式 GB/T 7714	孙月峰,张维佳,宋登元,等. 掺硼和掺磷的氢化纳米硅薄膜及其应用于类叠层太阳电池的研究[J]. 表面技术,2013,42:5-8.
APA	孙月峰.,张维佳.,宋登元.,刘嘉.,张雷.,...&张冷.(2013).掺硼和掺磷的氢化纳米硅薄膜及其应用于类叠层太阳电池的研究.表面技术,42,5-8.
MLA	孙月峰,et al."掺硼和掺磷的氢化纳米硅薄膜及其应用于类叠层太阳电池的研究".表面技术 42(2013):5-8.

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