薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究

CORC > 力学研究所 > 中国科学院力学研究所 > 力学所知识产出(1956-2008)

	薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究
	魏成; 李喜德; 黄静波; 施惠基; 张泰华
刊名	光子学报
	2005-05-25
卷号	34 期号:5 页码:737-741
关键词	薄膜微区域变形微压痕标记法微缺陷
ISSN号	1004-4213
其他题名	Microregion Deformation Measurement of Thin Films Using Array Microindentation Mark Method
通讯作者	魏成
中文摘要	本文应用阵列微压痕标记技术完成了薄膜表面微孔洞缺陷邻域变形检测.检测中通过应用纳米压痕和微区域放电技术,制作微标记阵列和微孔洞缺陷,并在数字化显微系统下完成微区域点阵变形检测,进而实现微区域小变形测量.研究了微标记点的信息提取与表征方法,讨论了微标记法在薄膜材料性能检测中的可行性及其检测性能.
收录类别	CSCD
资助信息	国家自然科学基金(10372049; 10072031; 10232030 )
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:2028241
公开日期	2009-08-03 ; 2010-08-20
内容类型	期刊论文
源URL	[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/42402]
专题	力学研究所_力学所知识产出(1956-2008)
推荐引用方式 GB/T 7714	魏成,李喜德,黄静波,等. 薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究[J]. 光子学报,2005,34(5):737-741.
APA	魏成,李喜德,黄静波,施惠基,&张泰华.(2005).薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究.光子学报,34(5),737-741.
MLA	魏成,et al."薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究".光子学报 34.5(2005):737-741.