| 一种用离子束加工样品界面实现背散射表征的装置 | |
| 谭军, 张磊, 张广平 and 谢天生 | |
| 2007-11-28 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院金属研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型属于样品表征界面的制备和成像技术,具体为一种用离子束加工 样品界面实现背散射表征的装置,利用双束聚焦离子束系统加工样品界面从而实 现背散射成像,采用双倾转样品台固定表征样品进行离子束制备表征界面和实现 背散射成像。该装置具有聚焦离子束系统、样品台,所述样品台为主倾转台、副 倾转台形成的双倾转样品台,在聚焦离子束系统主倾转台上安装与聚焦离子束系 统主倾转台转向相同的聚焦离子束系统副倾转台。采用本实用新型装置可以制备 出符合扫描电镜需求的背散射表征样品,减少样品的腐蚀、氧化和表面划痕等因 素的影响和干扰,较好反映需要分析的样品表面特... |
| 公开日期 | 2007-11-28 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200982932 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/67736]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭军, 张磊, 张广平 and 谢天生. 一种用离子束加工样品界面实现背散射表征的装置. 2007-11-28. |
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