| 激光气相合成薄膜和超细粉的装置 | |
| 冯钟潮, 梁勇, 郑丰, 肖克沈, 张炳春 and 侯万良 | |
| 1994-01-12 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院金属研究所 |
| 中文摘要 | 一种激光气相合成薄膜和超细粉的装置,由激光源、反应室、反应气入射口、保护气入射口等几部分组成。其特征在于光路由一平凸透镜和凹全反射镜构成,凸透镜与凹全反射镜同轴共焦点。本实用新型具有光能利用率高、产率高、质量好等特点。 |
| 公开日期 | 1994-01-12 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN2152808 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/66082]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯钟潮, 梁勇, 郑丰, 肖克沈, 张炳春 and 侯万良. 激光气相合成薄膜和超细粉的装置. 1994-01-12. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论