衬底温度对共溅射法制备BaSi2薄膜的影响 | |
杨子义; 刘涛; 徐虎 | |
2017 | |
卷号 | 40期号:5页码:675-679 |
关键词 | 共溅射法 BaSi2薄膜 衬底温度 晶体结构 表面形貌 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6490327 |
专题 | 贵州大学 |
作者单位 | 1.[1]贵阳学院电子与通信工程学院,贵州贵阳550005 2.[2]贵州大学新型光电子材料与技术研究所,贵州贵阳550025 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨子义,刘涛,徐虎. 衬底温度对共溅射法制备BaSi2薄膜的影响[J],2017,40(5):675-679. |
APA | 杨子义,刘涛,&徐虎.(2017).衬底温度对共溅射法制备BaSi2薄膜的影响.,40(5),675-679. |
MLA | 杨子义,et al."衬底温度对共溅射法制备BaSi2薄膜的影响".40.5(2017):675-679. |
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