CORC  > 贵州大学
衬底温度对共溅射法制备BaSi2薄膜的影响
杨子义; 刘涛; 徐虎
2017
卷号40期号:5页码:675-679
关键词共溅射法 BaSi2薄膜 衬底温度 晶体结构 表面形貌
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6490327
专题贵州大学
作者单位1.[1]贵阳学院电子与通信工程学院,贵州贵阳550005
2.[2]贵州大学新型光电子材料与技术研究所,贵州贵阳550025
推荐引用方式
GB/T 7714
杨子义,刘涛,徐虎. 衬底温度对共溅射法制备BaSi2薄膜的影响[J],2017,40(5):675-679.
APA 杨子义,刘涛,&徐虎.(2017).衬底温度对共溅射法制备BaSi2薄膜的影响.,40(5),675-679.
MLA 杨子义,et al."衬底温度对共溅射法制备BaSi2薄膜的影响".40.5(2017):675-679.
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