MgO缓冲层对Si衬底上制备Fe3Si薄膜性能的影响 | |
张翀; 谢晶; 谢泉 | |
2017 | |
卷号 | 42期号:12页码:933-937 |
关键词 | 磁控溅射法 MgO缓冲层 Fe3Si薄膜 晶体结构 电阻率 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6479748 |
专题 | 贵州大学 |
作者单位 | [1]贵州大学大数据与信息工程学院新型光电子材料与技术研究所,贵阳550025 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张翀,谢晶,谢泉. MgO缓冲层对Si衬底上制备Fe3Si薄膜性能的影响[J],2017,42(12):933-937. |
APA | 张翀,谢晶,&谢泉.(2017).MgO缓冲层对Si衬底上制备Fe3Si薄膜性能的影响.,42(12),933-937. |
MLA | 张翀,et al."MgO缓冲层对Si衬底上制备Fe3Si薄膜性能的影响".42.12(2017):933-937. |
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