| 一种低应力可重复的SiC单晶生长用热场结构及其应用 | |
| 彭燕; 杨祥龙; 胡小波; 徐现刚; 陈玉峰; 张磊 | |
| 2018-09-21 | |
| 权利人 | 山东大学 ; 国网山东省电力公司电力科学研究院 |
| 公开日期 | 2018-09-21 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 专利 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6473325 |
| 专题 | 山东大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭燕,杨祥龙,胡小波,等. 一种低应力可重复的SiC单晶生长用热场结构及其应用. 2018-09-21. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论