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	多弧离子镀制备小调制周期Ti/TiN超硬纳米多层膜
	孙珲; 郑小龙; 宋淑梅; 杨田林; 王宝铭; 王昆仑; 杨波波
	2019-03-08
权利人	山东大学
公开日期	2019-03-08
URL标识	查看原文
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6472498
专题	山东大学
推荐引用方式 GB/T 7714	孙珲,郑小龙,宋淑梅,等. 多弧离子镀制备小调制周期Ti/TiN超硬纳米多层膜. 2019-03-08.

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