CORC  > 山东师范大学
脉冲激光沉积法ZnO薄膜N2中的制备和退火特性研究
魏显起; 满宝元
2006
会议日期2006年10月27日
会议地点苏州
关键词晶体结构 表面形貌 光学特性 脉冲激光沉积法 退火特性 复晶薄膜
会议录第十届固体薄膜会议论文集
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内容类型会议论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6432048
专题山东师范大学
作者单位山东师范大学物理与电子科学学院,济南 250014
推荐引用方式
GB/T 7714
魏显起,满宝元. 脉冲激光沉积法ZnO薄膜N2中的制备和退火特性研究[C]. 见:. 苏州. 2006年10月27日.
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