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	退火温度对碳注入外延硅蓝光发射特性的影响
	李忠 [1]; 赵显 [2]; 李玉国 [1]; 薛成山 [1]
	2004
卷号	23期号:7页码:46-47
关键词	注碳外延硅 蓝光发射 纳米硅镶嵌结构 氮气氛中退火
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内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6422476
专题	山东师范大学
作者单位	1.[1]山东师范大学物理与电子科学学院,山东,济南,250014 2.[2]山东大学晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100
推荐引用方式 GB/T 7714	李忠 [1],赵显 [2],李玉国 [1],等. 退火温度对碳注入外延硅蓝光发射特性的影响[J],2004,23(7):46-47.
APA	李忠 [1],赵显 [2],李玉国 [1],&薛成山 [1].(2004).退火温度对碳注入外延硅蓝光发射特性的影响.,23(7),46-47.
MLA	李忠 [1],et al."退火温度对碳注入外延硅蓝光发射特性的影响".23.7(2004):46-47.

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