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	高气密四十线VLSI玻璃陶瓷技术研究
	庄惠照[1]; 薛成山[1]; 于绥贞[1]; 王显明[1]; 杨利[1]
	2002
关键词	高气密 四十线VLSI 玻璃陶瓷
URL标识	查看原文
内容类型	成果
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6421179
专题	山东师范大学
推荐引用方式 GB/T 7714	庄惠照[1],薛成山[1],于绥贞[1],等. 高气密四十线VLSI玻璃陶瓷技术研究. . 2002.

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