CORC  > 山东师范大学
题名以Pd为缓冲层制备GaN薄膜和一维纳米结构的研究
作者郭永福
导师薛成山
关键词GaN 纳米结构 Pd缓冲层 磁控溅射 氨化法
学位名称硕士
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内容类型学位论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6402938
专题山东师范大学
作者单位山东师范大学
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GB/T 7714
郭永福. 以Pd为缓冲层制备GaN薄膜和一维纳米结构的研究[D].
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