射频溅射沉积的纤维织构和外延生长的Ba(Sr,Ti)O3薄膜的X光谱分析

	射频溅射沉积的纤维织构和外延生长的Ba(Sr,Ti)O3薄膜的X光谱分析
	99 ; 杨丽慧 ; 99 ; 99 ; 99 ; 王根水 ; 董显林
刊名	J. Appl. Phys.
	2011-12-27
其他题名	X-ray combined analysis of fiber-textured and epitaxial Ba(Sr,Ti)O3 thin films deposited by radio frequency sputtering
通讯作者	D. R¨¦miens
学科主题	材料化学
收录类别	SCI收录
公开日期	2012-07-05
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sic.ac.cn/handle/331005/1303]
专题	上海硅酸盐研究所_无机功能材料与器件重点实验室_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	99,杨丽慧,99,等. 射频溅射沉积的纤维织构和外延生长的Ba(Sr,Ti)O3薄膜的X光谱分析[J]. J. Appl. Phys.,2011.
APA	99.,杨丽慧.,99.,99.,99.,...&董显林.(2011).射频溅射沉积的纤维织构和外延生长的Ba(Sr,Ti)O3薄膜的X光谱分析.J. Appl. Phys..
MLA	99,et al."射频溅射沉积的纤维织构和外延生长的Ba(Sr,Ti)O3薄膜的X光谱分析".J. Appl. Phys. (2011).