| 纳米硅制备过程中微结构与反应气体流量之间的关系研究 | |
| Liu,Yingcai; Yin,Yansheng; Li,Jing; Li,Jia; Chu,Lei | |
| 刊名 | 人工晶体学报
 |
| 2004 | |
| 卷号 | 33期号:4 |
| 关键词 | 纳米硅 激光诱导化学气相沉积法 晶体生长 微结构 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6337762 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 1.中国海洋大学材料科学与工程学院, 青岛, 山东 266003, 中国. 2.中国海洋大学材料科学与工程学院, 青岛, 山东 266003, 中国. 3.中国海洋大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Liu,Yingcai,Yin,Yansheng,Li,Jing,等. 纳米硅制备过程中微结构与反应气体流量之间的关系研究[J]. 人工晶体学报,2004,33(4). |
| APA | Liu,Yingcai,Yin,Yansheng,Li,Jing,Li,Jia,&Chu,Lei.(2004).纳米硅制备过程中微结构与反应气体流量之间的关系研究.人工晶体学报,33(4). |
| MLA | Liu,Yingcai,et al."纳米硅制备过程中微结构与反应气体流量之间的关系研究".人工晶体学报 33.4(2004). |
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