用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布

	用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布
	刘世杰 ; 吴越 ; 盛康龙 ; 李春瑛
刊名	高能物理与核物理
	1989
期号	06
中文摘要	利用2.0—2.5MeV He的弹性反冲探测方法;测量了二氧化硅和氮化硅膜层中的氢分布;并给出氢含量与淀积工艺条件的关系.讨论了在给定的实验条件下最大的探测深度、探测灵敏度极限和深度分辨率.
收录类别	CNKI
语种	中文
公开日期	2013-01-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/12296]
专题	上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前
推荐引用方式 GB/T 7714	刘世杰,吴越,盛康龙,等. 用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布[J]. 高能物理与核物理,1989(06).
APA	刘世杰,吴越,盛康龙,&李春瑛.(1989).用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布.高能物理与核物理(06).
MLA	刘世杰,et al."用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布".高能物理与核物理 .06(1989).