用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布 | |
刘世杰 ; 吴越 ; 盛康龙 ; 李春瑛 | |
刊名 | 高能物理与核物理
![]() |
1989 | |
期号 | 06 |
中文摘要 | 利用2.0—2.5MeV He的弹性反冲探测方法;测量了二氧化硅和氮化硅膜层中的氢分布;并给出氢含量与淀积工艺条件的关系.讨论了在给定的实验条件下最大的探测深度、探测灵敏度极限和深度分辨率. |
收录类别 | CNKI |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2013-01-23 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/12296] ![]() |
专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘世杰,吴越,盛康龙,等. 用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布[J]. 高能物理与核物理,1989(06). |
APA | 刘世杰,吴越,盛康龙,&李春瑛.(1989).用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布.高能物理与核物理(06). |
MLA | 刘世杰,et al."用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布".高能物理与核物理 .06(1989). |
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