活化法测量溅射Au原子的各向异性

	活化法测量溅射Au原子的各向异性
	陶振兰 ; 郑里平 ; 曹德新 ; 张阿虎
刊名	核技术
	1987-05-31
期号	05
中文摘要	<正> 溅射的空间分布和溅射率的研究不仅是检验各种溅射机制的重要手段而且与许多溅射的应用问题紧密相联。如利用溅射刻绘集成电路所需的复杂图样、单晶表面加工和薄靶制备技术等。此外一些分析技术也有赖于溅射的角分布和能量分布知识。有关溅射理论的基础是由Sigmund在1969年提出的线性级联碰撞理论。根据他的理论引致的空间溅射角分布是余弦形状的对称分布;但一些实验表明这一理论与实验有明显的偏
收录类别	CNKI
语种	中文
公开日期	2013-01-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11588]
专题	上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前
推荐引用方式 GB/T 7714	陶振兰,郑里平,曹德新,等. 活化法测量溅射Au原子的各向异性[J]. 核技术,1987(05).
APA	陶振兰,郑里平,曹德新,&张阿虎.(1987).活化法测量溅射Au原子的各向异性.核技术(05).
MLA	陶振兰,et al."活化法测量溅射Au原子的各向异性".核技术 .05(1987).