Ar离子轰击Ag靶的溅射角分布

	Ar离子轰击Ag靶的溅射角分布
	潘浩昌 ; 陶振兰 ; 郑里平 ; 曹德新 ; 张衡山 ; 张阿虎 ; 周祖尧 ; 周伟
刊名	核技术
	1988-05-30
期号	05
中文摘要	本文描述了用溅射粒子捕集器和Rutherford背散射分析测定溅射粒子角分布的实验方法。给出了100keV Ar~+在入射角分别为0°、30°、50°和80°时轰击Ag靶的溅射角分布。角分布偏离余弦形状;有前倾趋势。溅射产额随入射角增大而迅速增加。由50keV Ar~+垂直入射Ag的溅射角分布计算出的总溅射产额为16.8±2.4~(atoms)/Ar~+。实验结果与理论值进行了比较;并作了定性分析。
收录类别	CNKI
语种	中文
公开日期	2013-01-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10870]
专题	上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前
推荐引用方式 GB/T 7714	潘浩昌,陶振兰,郑里平,等. Ar离子轰击Ag靶的溅射角分布[J]. 核技术,1988(05).
APA	潘浩昌.,陶振兰.,郑里平.,曹德新.,张衡山.,...&周伟.(1988).Ar离子轰击Ag靶的溅射角分布.核技术(05).
MLA	潘浩昌,et al."Ar离子轰击Ag靶的溅射角分布".核技术 .05(1988).