Ar离子轰击Ag靶的溅射角分布 | |
潘浩昌 ; 陶振兰 ; 郑里平 ; 曹德新 ; 张衡山 ; 张阿虎 ; 周祖尧 ; 周伟 | |
刊名 | 核技术
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1988-05-30 | |
期号 | 05 |
中文摘要 | 本文描述了用溅射粒子捕集器和Rutherford背散射分析测定溅射粒子角分布的实验方法。给出了100keV Ar~+在入射角分别为0°、30°、50°和80°时轰击Ag靶的溅射角分布。角分布偏离余弦形状;有前倾趋势。溅射产额随入射角增大而迅速增加。由50keV Ar~+垂直入射Ag的溅射角分布计算出的总溅射产额为16.8±2.4~(atoms)/Ar~+。实验结果与理论值进行了比较;并作了定性分析。 |
收录类别 | CNKI |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2013-01-23 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10870] ![]() |
专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 潘浩昌,陶振兰,郑里平,等. Ar离子轰击Ag靶的溅射角分布[J]. 核技术,1988(05). |
APA | 潘浩昌.,陶振兰.,郑里平.,曹德新.,张衡山.,...&周伟.(1988).Ar离子轰击Ag靶的溅射角分布.核技术(05). |
MLA | 潘浩昌,et al."Ar离子轰击Ag靶的溅射角分布".核技术 .05(1988). |
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