27keVAr~+离子轰击Fe-W合金的溅射原子角分布研究 | |
王震遐 ; 郑里平 ; 陶振兰 ; 潘冀生 | |
刊名 | 核技术
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1989-03-02 | |
期号 | 02 |
中文摘要 | 本文报道在27keV Ar~+离子轰击Fe-W(30wt.%)合金情况下;溅射Fe和W原子的角分布实验结果。用卢瑟福背散射(RBS)谱仪分析了不同发射角θ处溅射沉积在衬底上的Fe-W薄膜的成分。结果表明;角分布形状均为over-cosine型;且W原子对Fe原子的比值与发射角θ有关。与我们以前关于Cu-Au合金和Ti-Ni合金的结果比较;暗示择优溅射程度可能与合金成分的质量比值有关。简单的模型分析发现;靶表面形貌是引起溅射原子角分布变化的重要因素。 |
收录类别 | CNKI |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2013-01-23 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10819] ![]() |
专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王震遐,郑里平,陶振兰,等. 27keVAr~+离子轰击Fe-W合金的溅射原子角分布研究[J]. 核技术,1989(02). |
APA | 王震遐,郑里平,陶振兰,&潘冀生.(1989).27keVAr~+离子轰击Fe-W合金的溅射原子角分布研究.核技术(02). |
MLA | 王震遐,et al."27keVAr~+离子轰击Fe-W合金的溅射原子角分布研究".核技术 .02(1989). |
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