| 薄膜材料杨氏模量测量方法的研究进展 | |
| 岳义; 相文峰; 赵昆; 赵嵩卿 | |
| 2014 | |
| 会议名称 | 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会论文集中国半导体行业协会 |
| 会议地点 | 太原 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6302243 |
| 专题 | 中国石油大学（北京） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 岳义,相文峰,赵昆,等. 薄膜材料杨氏模量测量方法的研究进展[C]. 见:2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会论文集中国半导体行业协会. 太原. |
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