| STM微位移工作台的遗传神经网络控制技术 | |
| 魏强; 张玉林; 郝慧娟; 卢文娟; 宋会英; 于欣蕾 | |
| 刊名 | 微细加工技术
 |
| 2006 | |
| 期号 | 4页码:10-14 |
| 关键词 | 电子束 扫描隧道显微镜 压电陶瓷 工作台 神经网络 遗传算法 PID |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6294082 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 山东大学控制科学与工程学院电子束研究所,山东大学控制科学与工程学院电子束研究所,山东大学控制科学与工程学院电子束 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 魏强,张玉林,郝慧娟,等. STM微位移工作台的遗传神经网络控制技术[J]. 微细加工技术,2006(4):10-14. |
| APA | 魏强,张玉林,郝慧娟,卢文娟,宋会英,&于欣蕾.(2006).STM微位移工作台的遗传神经网络控制技术.微细加工技术(4),10-14. |
| MLA | 魏强,et al."STM微位移工作台的遗传神经网络控制技术".微细加工技术 .4(2006):10-14. |
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