| 非线性曲线拟合法确定邻近效应参数 | |
| 郝慧娟; 张玉林; 宋会英; 魏强 | |
| 刊名 | 微细加工技术
 |
| 2006 | |
| 期号 | 2页码:12-15+20 |
| 关键词 | 曲线拟合 MonteCarlo模拟 最小二乘法 电子束光刻 邻近效应 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6292011 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 山东大学控制学院电子束研究所,山东大学控制学院电子束研究所,山东大学控制学院电子束研究所,山东大学控制学院电子束研究所 济南250 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郝慧娟,张玉林,宋会英,等. 非线性曲线拟合法确定邻近效应参数[J]. 微细加工技术,2006(2):12-15+20. |
| APA | 郝慧娟,张玉林,宋会英,&魏强.(2006).非线性曲线拟合法确定邻近效应参数.微细加工技术(2),12-15+20. |
| MLA | 郝慧娟,et al."非线性曲线拟合法确定邻近效应参数".微细加工技术 .2(2006):12-15+20. |
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