| 气相沉积技术制备TiN类硬质膜 | |
| 田永生; 陈传忠; 王德云; 雷廷权 | |
| 刊名 | 材料科学与工艺
 |
| 2007 | |
| 卷号 | 15期号:3页码:439-444 |
| 关键词 | 硬质膜 陶瓷 制备工艺 进展 气相沉积 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6259824 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 山东大学材料科学与工程学院,山东大学材料科学与工程学院,山东大学材料科学与工程学院,哈尔滨工业大学材料科学与工程学院 山东济南 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 田永生,陈传忠,王德云,等. 气相沉积技术制备TiN类硬质膜[J]. 材料科学与工艺,2007,15(3):439-444. |
| APA | 田永生,陈传忠,王德云,&雷廷权.(2007).气相沉积技术制备TiN类硬质膜.材料科学与工艺,15(3),439-444. |
| MLA | 田永生,et al."气相沉积技术制备TiN类硬质膜".材料科学与工艺 15.3(2007):439-444. |
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