| 利用金刚石线锯切割硅晶体的实验研究 | |
| 侯志坚; 葛培琪; 张进生; 李绍杰; 高玉飞 | |
| 刊名 | 金刚石与磨料磨具工程
 |
| 2007 | |
| 期号 | 5页码:14-16 |
| 关键词 | 金刚石锯丝 切割 硅晶体 粗糙度 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6255144 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 1.山东大学机械工程学院 2.山东大学机械工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 侯志坚,葛培琪,张进生,等. 利用金刚石线锯切割硅晶体的实验研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程,2007(5):14-16. |
| APA | 侯志坚,葛培琪,张进生,李绍杰,&高玉飞.(2007).利用金刚石线锯切割硅晶体的实验研究.金刚石与磨料磨具工程(5),14-16. |
| MLA | 侯志坚,et al."利用金刚石线锯切割硅晶体的实验研究".金刚石与磨料磨具工程 .5(2007):14-16. |
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