| 一种双极型单片三维半导体集成结构及其制备方法 | |
| 马奎; 杨发顺; 林洁馨 | |
| 2017 | |
| 关键词 | 型外延层 型衬 结构及其制备方法 半导体器件 三维半导体 集成度 芯片 型单片 隔离 互连 公开 提高 相邻 体内 掺杂 解决 实现 位于 降低 反向 |
| 公开日期 | 2018 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 申请日期 | 2017 |
| 专利申请号 | CN201711080125.X |
| 内容类型 | 专利 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6249967 |
| 专题 | 贵州大学 |
| 作者单位 | [1]贵州大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马奎,杨发顺,林洁馨. 一种双极型单片三维半导体集成结构及其制备方法. 2017-01-01. |
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