| 题名 | 基于自上而下技术制备的硅纳米线及其在生化领域的应用 |
| 作者 | 龚宜彬 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2010-06-26 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | 纳米制造 硅纳米线 场效应管 生化传感器 |
| 其他题名 | Top-down Fabricated Silicon Nanowire and Its Application in Biochemical Field |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 半导体纳米线器件因其独特的物理特性，获得广泛关注。特别是硅纳米线，由于其在工艺兼容性方面的天然优势，已逐渐成为研究的热点。然而，在实际硅纳米线制造过程中，“自上而下”方法设备昂贵、步骤复杂，而“自下而上”方法则存在定位困难、不便集成等缺点。本论文的主要工作，是通过分析并改良传统微米加工技术中的关键工艺，验证其在硅纳米线制造中的可行性，提出两种稳定的纳米线制备方法，具有步骤简单、与CMOS工艺高度兼容、成本低、产率高、且线宽尺寸可控等优点，为大规模的器件制备打下扎实的基础。首先，对基于氮化硅侧面保护的纳米线 |
| 语种 | 中文 |
| 学科主题 | 增补 |
| 公开日期 | 2013-04-24 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/115052]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 龚宜彬. 基于自上而下技术制备的硅纳米线及其在生化领域的应用[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2010. |
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