| 一种新型硅基衬底半绝缘结构的研究 | |
| 马奎; 杨发顺 | |
| 2016 | |
| 卷号 | 41期号:10页码:740-745 |
| 关键词 | 半绝缘 纵向器件 多次外延 多次选择性掺杂 介质隔离槽 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6224352 |
| 专题 | 贵州大学 |
| 作者单位 | 1.[1]贵州大学电子科学系,贵阳550025 2.[2]贵州省微纳电子技术与软件技术重点实验室,贵阳550025 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马奎,杨发顺. 一种新型硅基衬底半绝缘结构的研究[J],2016,41(10):740-745. |
| APA | 马奎,&杨发顺.(2016).一种新型硅基衬底半绝缘结构的研究.,41(10),740-745. |
| MLA | 马奎,et al."一种新型硅基衬底半绝缘结构的研究".41.10(2016):740-745. |
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