| 不同湿度下Cr离子注入非晶碳膜的摩擦学性能研究 | |
| 阎逢元; 韩修训; 张爱民; 阎鹏勋; 许世红; 牟宗信 | |
| 2002 | |
| 会议名称 | 第七届全国摩擦学大会 |
| 会议日期 | 2002-08-05 |
| 会议地点 | 兰州 |
| 关键词 | 离子注入 非晶碳膜 湿度 摩擦性能 铬离子 单晶硅 |
| 页码 | 165-170 |
| 会议录 | 第七届全国摩擦学大会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6219692 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室(甘肃兰州 2.兰州大学等离子体与金属材料研究所(甘肃兰州 3.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室(辽宁大连 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 阎逢元,韩修训,张爱民,等. 不同湿度下Cr离子注入非晶碳膜的摩擦学性能研究[C]. 见:第七届全国摩擦学大会. 兰州. 2002-08-05. |
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