| 脉冲磁过滤阴极弧沉积中基片台悬浮电位研究 | |
| 邹学平; 李国卿; 丁振峰; 张家良; 牟宗信; 关秉羽 | |
| 刊名 | 核聚变与等离子体物理
 |
| 2002 | |
| 卷号 | 22页码:243-248 |
| 关键词 | 阴极弧 基片台悬浮电位 等离子体电位 复合探针 基片偏压 |
| ISSN号 | 0254-6086 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6208555 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024 2.沈阳北宇真空机械厂,沈阳,110000 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邹学平,李国卿,丁振峰,等. 脉冲磁过滤阴极弧沉积中基片台悬浮电位研究[J]. 核聚变与等离子体物理,2002,22:243-248. |
| APA | 邹学平,李国卿,丁振峰,张家良,牟宗信,&关秉羽.(2002).脉冲磁过滤阴极弧沉积中基片台悬浮电位研究.核聚变与等离子体物理,22,243-248. |
| MLA | 邹学平,et al."脉冲磁过滤阴极弧沉积中基片台悬浮电位研究".核聚变与等离子体物理 22(2002):243-248. |
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