| 感应耦合等离子体源制备硬质类金刚石膜的研究 | |
| 俞世吉; 马腾才 | |
| 刊名 | 核技术
 |
| 2003 | |
| 卷号 | 26页码:125-128 |
| 关键词 | 感应耦合等离子体源 类金刚石膜 基片负偏压 |
| ISSN号 | 0253-3219 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6202167 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.中国科学院电子学研究所,北京,100080 2.大连理工大学物理系,大连,116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 俞世吉,马腾才. 感应耦合等离子体源制备硬质类金刚石膜的研究[J]. 核技术,2003,26:125-128. |
| APA | 俞世吉,&马腾才.(2003).感应耦合等离子体源制备硬质类金刚石膜的研究.核技术,26,125-128. |
| MLA | 俞世吉,et al."感应耦合等离子体源制备硬质类金刚石膜的研究".核技术 26(2003):125-128. |
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