| 压电驱动法布里－珀罗腔可调光学滤波器件及制作方法 | |
| 向明 ; 吴亚明 ; 徐静 | |
| 2005 | |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 本发明提供一种法布里－珀罗(FP)腔可调光学滤波器件及制作方法。其特征在于将压电驱动方式的稳定性同MEMS批量加工的优势结合起来,并采用特殊的阻挡块结构设计保证腔体两平行镜面的平行度,降低了装配难度,从而保证器件性能。所提供的FP腔体由分解的二块压电块,一上高反膜和一下高反膜构成。上高反膜或为平面型或为凹的球面、柱面或为凹的近似球面、柱面,分别形成平面型或“平凹型”FP谐振腔。本发明工艺,结构简单,成本低廉,没有细梁等易受外界影响的部件,体积小,易于大批量制作,器件稳定可靠,性能优异。 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113700]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 向明,吴亚明,徐静. 压电驱动法布里－珀罗腔可调光学滤波器件及制作方法. 鉴定:无. 2005. |
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