| 一次离子交换工艺制备平面集成布拉格波导光栅的方法 | |
| 吴亚明 ; 郝寅雷 | |
| 2007 | |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 该发明涉及一种采用一次离子交换工艺在玻璃基片上制作平面集成Bragg波导光栅的方法。其特征在于所述的方法采用微细加工工艺在玻璃基片表面制作出周期性条形扩散窗口,而后将玻璃基片放入含有高极化率掺杂离子的溶液中进行离子交换,离子交换过程中通过相毗邻的离子交换窗口扩散形成的条形光波导相互交迭,形成折射率分布带有周期性“褶皱”的“平板光波导”。这种“平板光波导”可以实现对入射光的调制,基于这种光栅的衍射原理,可以制成集成光路中的分插复用器或滤波器。该发明所述方法进一步简化了平面Bragg光栅器件的制作工艺,降低了 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113676]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴亚明,郝寅雷. 一次离子交换工艺制备平面集成布拉格波导光栅的方法. 鉴定:无. 2007. |
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