| 一种含镁锌氧的金属－绝缘层－半导体结构及制备工艺 | |
| 吴惠桢 ; 梁军 ; 劳燕锋 | |
| 2004 | |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 该项目以半导体单晶Si为衬底,通过沉积立方相MgZnO纳米薄膜和后续的金属膜、并通过光刻等器件工艺,制成了金属－绝缘层－半导体结构(MIS)器件结构,其应用趋向是在微电子领域,如薄膜电阻、薄膜电容、薄膜晶体管等。 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113673]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴惠桢,梁军,劳燕锋. 一种含镁锌氧的金属－绝缘层－半导体结构及制备工艺. 鉴定:无. 2004. |
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