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	一种扭转梁大位移的微机械光开关
	王浙辉 ; 李铁 ; 王跃林
	2003
获奖类别	鉴定
获奖等级	无
中文摘要	涉及一种微机械光开关,属于微机械领域。其特征在于：上、下两电极分别位于二个形状相似的二个外框架内,含上电极的上外框架放在另一外框架上面,彼此由绝缘氧化物层绝缘;4个V型槽位于上电极所在的外框架的上表面,它们与镜子均呈45度角;扭转梁通过扭转梁固定点固定于外框架底部,扭转梁和可动上电极相连;镜子竖直位于可动上电极的前端;下电极固定在低于外框架的表面的平面面上,形成一个空间。当上外框架叠在其上并施加电压时,上、下电极间产生电压差,使上电极受到向下运动的力带动扭转梁产生扭力使镜子向下移动,处于“开”状态。因而具
语种	中文
内容类型	成果
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113668]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果
推荐引用方式 GB/T 7714	王浙辉,李铁,王跃林. 一种扭转梁大位移的微机械光开关. 鉴定:无. 2003.

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