| 一种量程可达200万M/S2的微机械加速度传感器 | |
| 李欣欣 ; 王跃林 ; 张锟 ; 陆德仁 ; 熊斌 ; 罗乐 | |
| 2005 | |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 该传感器由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上下玻璃盖板构成;有锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片封装在框架内,与上下玻璃盖板键合在一起;敏感芯片采用对称结构的双端固支的双质量块;3个敏感薄板的长度相等,宽度与质量块相同;压敏电阻为单一直线条状,外侧的两条安置于敏感薄板梁与锚区交界处,另外两条设置在中央薄板中间。该传感器的固有频率可达700KHZ以上,且不使灵敏度下降。 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113584]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李欣欣,王跃林,张锟,等. 一种量程可达200万M/S2的微机械加速度传感器. 鉴定:无. 2005. |
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