| 用掩膜和无掩膜技术一次成型原子力显微镜探针和悬臂梁 | |
| 李昕欣 ; 鲍敏杭 ; 杨恒 ; 王跃林 | |
| 2006 | |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 本发明提供了一种利用掩膜－无掩膜腐蚀技术实现AFM悬臂梁和探针一次成型的制作方法。其特征在于在腐蚀过程中,探针采用有掩膜腐蚀技术腐蚀,而梁采用无掩膜腐蚀技术腐蚀,当探针针尖的直径达到预定值时,梁的厚度达到设定值。仅采用了常规的光刻工艺和湿法各向异性腐蚀工艺,对工艺设备要求较低、简便易行,降低了产品成本,提高了成品率;采用SOI硅片的顶层硅的下表面作为光反射面,与重掺杂自停止腐蚀形成的表面相比更平整,光反射率高;以二氧化硅埋层为腐蚀自停止层,与重掺杂自停止方法相比,对梁厚度的控制更为精确。 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113574]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李昕欣,鲍敏杭,杨恒,等. 用掩膜和无掩膜技术一次成型原子力显微镜探针和悬臂梁. 鉴定:无. 2006. |
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