| 一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用 | |
| 李四华 ; 吴亚明 | |
| 2006 | |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 该发明的目的在于提供一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用,属于光纤通信领域。为反射式可调光衰减器提供一种利用MEMS技术制作的工艺实现简单,静电驱动的扭转微镜驱动器。该发明的驱动器利用静电力驱动,通过施加较小的电压,可以使得微镜面扭转一定角度,通过镜面扭转的小角度来改变反射光耦合,不同的角度改变引起相应的光信号衰减量。 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113568]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李四华,吴亚明. 一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用. 鉴定:无. 2006. |
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