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	磷化铟基量子级联激光器原子层尺度外延材料质量控制方法
	李爱珍 ; 林春 ; 李华
	2005
获奖类别	鉴定
获奖等级	无
中文摘要	利用本发明专利解决了量子级联激光器结构百层至千层氮原子尺度的外延层方法,这是发展QCL领域必须率先解决的问题。由于该外延方法属于量子级联激光器结构的核心技术,绝对保密,文献从不报导,而本发明专利填补了这项空白,发展了我国自主知识产权的磷化铟基量子级联激光器原子层尺度外延材料质量控制方法。 该发明专利已成功用于生长25级(400层)至100级(2225层)原子层和纳米量级厚度的中红外多模和单模量子级联激光器(QCL),且生长的QCL材料均实现激射。国际上只有几个实验室成功生长100级的QCL,且都是采用固态
语种	中文
内容类型	成果
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113557]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果
推荐引用方式 GB/T 7714	李爱珍,林春,李华. 磷化铟基量子级联激光器原子层尺度外延材料质量控制方法. 鉴定:无. 2005.

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