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	电泳微芯片制作方法
	未知
	2005
获奖类别	鉴定
获奖等级	无
中文摘要	该发明专利是一种电泳微芯片的制作方法。该方法包括下列步骤：(1)电泳微芯片的设计：根据电泳微芯片的功能要求,结合相应的工艺条件,考虑以下几个参数：进样泳道和分离泳道的宽度、长度、管道的形状(包括弯道、弧度、不规格形状等)和管道间的距离等进行芯片图形设计,将设计好的图形制作成掩模版。(2)电泳微芯片的制作：选择优质石英作为芯片的基片,利用光刻湿法腐蚀方法在基片上形成凹槽等,然后利用键合技术形成微管道网络,构成电泳微芯片。其优点是：湿法腐蚀过程采用铬和光刻胶双层保护,保护可靠;键合过程采用预键合和烧结过程相结
语种	中文
内容类型	成果
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113447]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果
推荐引用方式 GB/T 7714	未知. 电泳微芯片制作方法. 鉴定:无. 2005.

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