| 三维形貌测量的扫描相移法研究 | |
| 徐建强; 王蕴栅; 司书春; 高成勇; 云大真 | |
| 刊名 | 光子学报
 |
| 2004 | |
| 卷号 | 33页码:1210-1213 |
| 关键词 | 三维形貌测量 扫描相移法 相移法 光切法 |
| ISSN号 | 1004-4213 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6193282 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学,工程力学系,辽宁,大连,116023 2.山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250061 3.山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250061 4.大连理工大学,工程力学系,辽宁,大连,116023 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐建强,王蕴栅,司书春,等. 三维形貌测量的扫描相移法研究[J]. 光子学报,2004,33:1210-1213. |
| APA | 徐建强,王蕴栅,司书春,高成勇,&云大真.(2004).三维形貌测量的扫描相移法研究.光子学报,33,1210-1213. |
| MLA | 徐建强,et al."三维形貌测量的扫描相移法研究".光子学报 33(2004):1210-1213. |
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