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题名	电磁场控制的电弧离子镀弧源设计及沉积工艺的研究
作者	郎文昌
学位类别	博士
答辩日期	2010
授予单位	中国科学院金属研究所
导师	闻立时
公开日期	2013-04-12
内容类型	学位论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/64155]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	郎文昌. 电磁场控制的电弧离子镀弧源设计及沉积工艺的研究[D]. 中国科学院金属研究所. 2010.

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