| MW-ECR PE-UMS制备TiN薄膜及其结构与性能 | |
| 张治国; 刘天伟; 徐军; 董闯; 邓新禄 | |
| 2004 | |
| 会议名称 | 2004年中国材料研讨会 |
| 会议日期 | 2004-11-01 |
| 会议地点 | 中国北京 |
| 关键词 | ECR等离子体 磁控溅射 诊断 氮化锆薄膜 |
| 页码 | 1 |
| 会议录 | 2004年中国材料研讨会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6180477 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张治国,刘天伟,徐军,等. MW-ECR PE-UMS制备TiN薄膜及其结构与性能[C]. 见:2004年中国材料研讨会. 中国北京. 2004-11-01. |
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