| 用于薄膜热容测量的微型量热计 | |
| 余隽; 唐祯安; 张凤田; 陈正豪; 王立鼎 | |
| 2005 | |
| 会议名称 | 中国微米纳米技术第七届学术年会 |
| 会议日期 | 2005-08-13 |
| 会议地点 | 大连 |
| 关键词 | 微量热计 MEMS器件 薄膜热容测量 脉冲量热法 |
| 页码 | 168-170 |
| 会议录 | 中国微米纳米技术第七届学术年会
 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6165295 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学,大连,116023 2.香港科技大学,香港 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 余隽,唐祯安,张凤田,等. 用于薄膜热容测量的微型量热计[C]. 见:中国微米纳米技术第七届学术年会. 大连. 2005-08-13. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论